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304不锈钢表面Ta沉积膜N离子 注入后的摩擦学性能

潘辰林,  刁云华,  温静,  李忠文,  林文松

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潘辰林, 刁云华, 温静, 李忠文, 林文松. 304不锈钢表面Ta沉积膜N离子 注入后的摩擦学性能[J]. 上海工程技术大学学报, 2013, 27(1): 87-90. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.01.019
引用本文: 潘辰林, 刁云华, 温静, 李忠文, 林文松. 304不锈钢表面Ta沉积膜N离子 注入后的摩擦学性能[J]. 上海工程技术大学学报, 2013, 27(1): 87-90. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.01.019
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PAN Chenlin, DIAO Yunhua, WEN Jing, LI Zhongwen, LIN Wensong. Tribological Properties of Ta Deposited Film on 304 Stainless Steel by N Ion Implantation[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2013, 27(1): 87-90. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.01.019
Citation: PAN Chenlin, DIAO Yunhua, WEN Jing, LI Zhongwen, LIN Wensong. Tribological Properties of Ta Deposited Film on 304 Stainless Steel by N Ion Implantation[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2013, 27(1): 87-90. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.01.019
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304不锈钢表面Ta沉积膜N离子 注入后的摩擦学性能

doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2013.01.019

  • 上海工程技术大学材料工程学院,上海,201620

详细信息

  • 中图分类号: TG174.444 TH117.1

Tribological Properties of Ta Deposited Film on 304 Stainless Steel by N Ion Implantation

    摘要
  • 摘要: 利用磁控溅射方法在304不锈钢表面沉积厚约100 nm的钽膜,并对其进行氮等离子体基离子注入,注入能量为50 keV,用掠射X线衍射(GXRD)分析了改性层的组成相结构,选取φ6 mm的GCr15钢球作为对磨件,测试了处理后试样的磨损性能.研究结果表明:改性层含有钽的氮化物,注入剂量较低时,化合物为TaN0.1；随着注入剂量的增加,形成TaN.经过该处理后的304不锈钢磨损性能提高,磨损率降低幅度达到66.3％；摩擦因数有所降低,表面摩擦因数由未处理前的1.0～1.2下降至处理后的0.2～0.4.
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  • 刊出日期:  2013-03-30

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