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激发频率对纳米晶硅薄膜微结构的影响

邱海宁,  何佳,  陈孟悦,  任超

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邱海宁, 何佳, 陈孟悦, 任超. 激发频率对纳米晶硅薄膜微结构的影响[J]. 上海工程技术大学学报, 2012, 26(3): 256-258. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.03.015
引用本文: 邱海宁, 何佳, 陈孟悦, 任超. 激发频率对纳米晶硅薄膜微结构的影响[J]. 上海工程技术大学学报, 2012, 26(3): 256-258. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.03.015
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QIU Haining, HE Jia, CHEN Mengyue, REN Chao. Influence of Excitation Frequencies on Microsturcture of Nanocrystalline Silicon Thin Films[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2012, 26(3): 256-258. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.03.015
Citation: QIU Haining, HE Jia, CHEN Mengyue, REN Chao. Influence of Excitation Frequencies on Microsturcture of Nanocrystalline Silicon Thin Films[J]. Journal of Shanghai University of Engineering Science, 2012, 26(3): 256-258. doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.03.015
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激发频率对纳米晶硅薄膜微结构的影响

doi: 10.3969/j.issn.1009-444X.2012.03.015

  • 上海工程技术大学 材料工程学院,上海,201620

详细信息

  • 中图分类号: TN304.12

Influence of Excitation Frequencies on Microsturcture of Nanocrystalline Silicon Thin Films

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  • 刊出日期:  2012-09-30

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